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品牌介紹

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產(chǎn)品推薦

產(chǎn)品詳情

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機產(chǎn)品簡介：

設(shè)備簡介：

1、真空腔

采用進口材料制作而成，焊接無漏氣，*優(yōu)化 8 層電*設(shè)計合理利用空間，專業(yè)等離子發(fā)生方式，絕緣可靠良好。

2、射頻電源

*全可靠的射頻電源(13.56MHz)，為等離子的產(chǎn)生提供保障。

3、真空泵

快速靜音抽真空系統(tǒng)設(shè)計，真空度可至 10pa 以內(nèi)，保證設(shè)備使用的各個需求壓力。

4、控制系統(tǒng)

PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)設(shè)計，方便客戶使用和操作。

5、流量控制系統(tǒng)

專業(yè)閉環(huán)流量控制系統(tǒng)，保證工藝氣體的準確，確保等離子的效果的穩(wěn)定。

裝機前準備：

1、壓縮空氣：≥0.5mpa，?6mm PU 管

2、工藝氣體：AR&O2(純度：≥99.999%)0.15～0.25mpa，?6mm PU 管

3、廢氣排放：?50mm 接口

4、主電源：≥ 4mm2 電源線(三相五線)，5.7KW Main

設(shè)備工作流程：

1、真空抽?。簩a(chǎn)品放置腔體內(nèi)，關(guān)上腔體門，打開真空泵，將真空腔內(nèi)氣壓從常壓抽至 30pa(自行設(shè)置)以內(nèi);

2、添加工藝氣體：將準確流量的工藝氣體添加至真空腔室內(nèi)，均勻分布;

3、產(chǎn)生等離子：射頻電源提供能量電離真空腔內(nèi)的工藝氣體，形成等離子體;

4、產(chǎn)品處理：根據(jù)設(shè)置時間處理產(chǎn)品的等離子處理時間;

5、破真空：產(chǎn)品處理完成后，打開破真空電磁閥，將真空腔壓力恢復至常壓取出產(chǎn)品。

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機技術(shù)參數(shù)：

名稱（Name）		Vacuum Plasma system真空等離子清洗機
型號（Model）		DSX- VPD-8L-S
技術(shù)參數(shù)(Technical Parameter)				備注(Remarks)
1	控制系統(tǒng) (Control system)		PLC+HMI	Mitsubishi
2	真空泵 Vacuum Pump		旋片式真空泵 Rotary vacuum pump	TVP
3	等離子發(fā)生系統(tǒng) Plasma generator		射頻電源 0-1000w+全網(wǎng)絡(luò)自動匹配器 RF Power 13.56MZH 1000W + Matching network	KVMEN
4	真空監(jiān)控系統(tǒng)Vacuum Guage		皮拉尼電阻式真空計 Pirani resistance vacuum gauge	Ulvac
5	氣體流量控制系統(tǒng)Mass Flow Control		質(zhì)量流量控制器 MFC control system	ETON
6	氣體控制系統(tǒng) Gas control system		二通電磁閥控制 2 Channel solenoid valve control	SMC
7	抽真空控制系統(tǒng)Vacuum output control		高真空氣動擋板閥 GDW-KF40 Hi-level vacuum pneumatic flapper valve GDW-KF40	ISO standard
8	破真空控制系統(tǒng)Vacuum breaking control		高真空氣動擋板閥 GDW-KF16 Hi-level vacuum pneumatic flapper valve	ISO standard
9	電*層數(shù) Electrode Layer		水平電*板 8 層(層數(shù)可選) 8 Layers of horizontal electrode plate（Option）	AL6061-L
10	有效處理面積 Effective treatment area		300mm（D）*400mm（W）	Option
11	工藝氣體通道 Process gas channel		兩路工作氣體可選擇：AR O2 N2 H2 CF4 等 2 channels process gases option: AR O2	Option
12	腔體規(guī)格 Chamber Size		450mm(W)450mm(D)400mm(H)	AL-6061-L
13	整機外形尺寸 Layout Size		995mm（W）1085mm（D）1750mm（H）

名稱（Name）		Vacuum Plasma system
型號（Model）		DSX-VPO-8L-S
技術(shù)參數(shù)(Technical parameters)				備注Remarks
1	設(shè)備電源Power supply		3P : 380VAC 50/60Hz
2	設(shè)備功率Power KW		5.7KW
3	工作真空度 Working vacuum point		10-100Pa
4	抽真空時間 Vacuum output time		≤100s
5	破真空時間 Vacuum breaking time		≤30s
6	射頻電源功率 RF Power KW		0-1000W
7	機臺重量Weight		≤500KG
8	質(zhì)量流量控制系統(tǒng) MFC Range		0-200sccm
9	操作方式 Mode of operation		全自動運行系統(tǒng)，一鍵啟動 Fully auto operation system, One-key starting

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