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  • DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)配有真空腔，射頻電源，真空泵，控制系統(tǒng)，流量控制系統(tǒng)。

關(guān)鍵字：DSX-VPD-8L-S,DSX-VPO-8L-S,DSX-VPD-8L-S等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品詳情

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

設(shè)備簡(jiǎn)介：

1、真空腔

采用進(jìn)口材料制作而成，焊接無(wú)漏氣，*優(yōu)化 8 層電*設(shè)計(jì)合理利用空間，專(zhuān)業(yè)等離子發(fā)生方式，絕緣可靠良好。

2、射頻電源

*全可靠的射頻電源(13.56MHz)，為等離子的產(chǎn)生提供保障。

3、真空泵

快速靜音抽真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)，真空度可至 10pa 以?xún)?nèi)，保證設(shè)備使用的各個(gè)需求壓力。

4、控制系統(tǒng)

PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，方便客戶(hù)使用和操作。

5、流量控制系統(tǒng)

專(zhuān)業(yè)閉環(huán)流量控制系統(tǒng)，保證工藝氣體的準(zhǔn)確，確保等離子的效果的穩(wěn)定。


裝機(jī)前準(zhǔn)備：

1、壓縮空氣：≥0.5mpa，?6mm PU 管

2、工藝氣體：AR&O2(純度：≥99.999%)0.15～0.25mpa，?6mm PU 管

3、廢氣排放：?50mm 接口

4、主電源：≥ 4mm2 電源線(xiàn)(三相五線(xiàn))，5.7KW Main


設(shè)備工作流程：

1、真空抽?。簩a(chǎn)品放置腔體內(nèi)，關(guān)上腔體門(mén)，打開(kāi)真空泵，將真空腔內(nèi)氣壓從常壓抽至 30pa(自行設(shè)置)以?xún)?nèi);

2、添加工藝氣體：將準(zhǔn)確流量的工藝氣體添加至真空腔室內(nèi)，均勻分布;

3、產(chǎn)生等離子：射頻電源提供能量電離真空腔內(nèi)的工藝氣體，形成等離子體;

4、產(chǎn)品處理：根據(jù)設(shè)置時(shí)間處理產(chǎn)品的等離子處理時(shí)間;

5、破真空：產(chǎn)品處理完成后，打開(kāi)破真空電磁閥，將真空腔壓力恢復(fù)至常壓取出產(chǎn)品。


DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

名稱(chēng)（Name）

Vacuum Plasma system真空等離子清洗機(jī)

型號(hào)（Model）

DSX- VPD-8L-S

技術(shù)參數(shù)(Technical Parameter)

備注(Remarks)

1

控制系統(tǒng)

(Control system)

PLC+HMI

Mitsubishi

2

真空泵

Vacuum Pump

旋片式真空泵

Rotary vacuum pump

TVP

3

等離子發(fā)生系統(tǒng)

Plasma generator

射頻電源 0-1000w+全網(wǎng)絡(luò)自動(dòng)匹配器

RF Power 13.56MZH 1000W + Matching network

KVMEN

4

真空監(jiān)控系統(tǒng)Vacuum Guage

皮拉尼電阻式真空計(jì)

Pirani resistance vacuum gauge

Ulvac

5

氣體流量控制系統(tǒng)Mass Flow Control

質(zhì)量流量控制器

MFC control system

ETON

6

氣體控制系統(tǒng)

Gas control system

二通電磁閥控制

2 Channel solenoid valve control

SMC

7

抽真空控制系統(tǒng)Vacuum output control

高真空氣動(dòng)擋板閥 GDW-KF40

Hi-level vacuum pneumatic flapper valve GDW-KF40

ISO standard

8

破真空控制系統(tǒng)Vacuum breaking control

高真空氣動(dòng)擋板閥 GDW-KF16

Hi-level vacuum pneumatic flapper valve

ISO standard

9

電*層數(shù)

Electrode Layer

水平電*板 8 層(層數(shù)可選)

8 Layers of horizontal electrode plate（Option）

AL6061-L

10

有效處理面積

Effective treatment area

300mm（D）*400mm（W）

Option

11

工藝氣體通道

Process gas channel

兩路工作氣體可選擇：AR O2 N2 H2 CF4 等

2 channels process gases option: AR O2

Option

12

腔體規(guī)格

Chamber Size

450mm(W)*450mm(D)*400mm(H)

AL-6061-L

13

整機(jī)外形尺寸

Layout Size

995mm（W）*1085mm（D）*1750mm（H）



名稱(chēng)（Name）

Vacuum Plasma system

型號(hào)（Model）

DSX-VPO-8L-S

技術(shù)參數(shù)(Technical parameters)

備注Remarks

1

設(shè)備電源Power supply

3P : 380VAC 50/60Hz


2

設(shè)備功率Power KW

5.7KW


3

工作真空度

Working vacuum point

10-100Pa


4

抽真空時(shí)間

Vacuum output time

≤100s


5

破真空時(shí)間

Vacuum breaking time

≤30s


6

射頻電源功率

RF Power KW

0-1000W


7

機(jī)臺(tái)重量Weight

≤500KG


8

質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

MFC Range

0-200sccm


9

操作方式

Mode of operation

全自動(dòng)運(yùn)行系統(tǒng)，一鍵啟動(dòng)

Fully auto operation system, One-key starting