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英國MICHELL Pura高純氣露點變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的初個適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。
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英國MICHELL
英國MICHELL Pura高純氣露點變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的初個適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。
英國MICHELL Pura高純氣露點變送器產(chǎn)品簡介：
在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的初個適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。
英國MICHELL Pura高純氣露點變送器產(chǎn)品特點：
測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡便
VCR 過程接口
設(shè)計緊湊小巧
顯示/報警單元可選
英國MICHELL Pura高純氣露點變送器技術(shù)參數(shù)：
傳感器 | ||
傳感器類型 | 密析爾陶瓷濕度傳感器 | |
量程 | -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C) | |
精度 | ±1°C -40 ~ -60°C; | |
分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; | |
壓力 | 低至10-9 torr; 大到24 MPa | |
氣體流量 | 1 ~ 5 Nl/min | |
電氣 | ||
電源 | 通常 24 V DC, 低至10 V ~ 高到28 V , 大電流 25 mA | |
輸出 | 4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供) | |
輸出出錯狀態(tài) | 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23mA=傳感器故障; 20mA=超上限; 4mA=超下限 | |
機(jī)械性能 | ||
傳感器套筒 | 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內(nèi)拋光 | |
氣路連接端口 | Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口 | |
安裝配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙； 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm； | |
尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm | |
重量 | Premium 或 OEM 型: 450g | |
包裝 | Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 | |
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